در فرآیند لیتوگرافی، تغییر زاویه ۰.۵ درجهای در حین گرم کردن فیلم فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و منجر به از بین رفتن تعداد زیادی از ویفرها شود. در اتاقهای پاکسازی درجه ۱-۱۰۰، بخاری باید دمای یکنواختی را فراهم کند، بدون اینکه ذراتی در فضا پدید آید یا دما نوسان کند. ما بخاریهای مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که به عنوان عاملی برای کنترل دما عمل کنند، نه به عنوان یک قطعه جانبی.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از عناصر مادون قرمز با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، گرما مستقیماً به ویفر و سطح حملکننده آن منتقل میشود، نه به دیوارههای محفظه. این امر باعث میشود که یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ همچنین، پایداری دما در شرایط بار، بهتر از ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. تکرارپذیری دما در هر بار اجرای فرآیند، کمتر از ۰.۳ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین، پروفایلهای گرمایشی در تمام مراحل فرآیند یکنواخت باقی میمانند.
بخاریها برای استفاده در اتاقهای پاکسازی مناسب هستند؛ زیرا از موادی با تولید گاز کم استفاده میکنند، اتصالات آنها بسته هستند، و سطح خارجی آنها قابل تمیز کردن است بدون اینکه آلایندههایی در آن باقی بماند. خروجی حرارتی توسط رلههای حالت جامد و با نظارت حلقه بسته کنترل میشود؛ همچنین، هر دستگاه همراه با یک منحنی کالیبراسیون قابل ردیابی ارائه میشود.
چرا این بخاریها در فرآیند تولید موفق عمل میکنند؟ فرآیند فوتورزیست نیازمند کنترل دقیق دما است. بخاریهای مادون قرمز ما، ویفر را به سرعت گرم میکنند و سپس دمای آن را ثابت نگه میدارند؛ این امر باعث کوتاه شدن مدت زمان گرم کردن و در عین حال حفظ پروفایل فوتورزیست میشود. طراحی این بخاریها باعث میشود که تولید ذرات در حد صفر باقی بماند؛ بنابراین، شما مجبور نیستید برای کنترل دما هزینه اضافی بپردازید.
گرما به جایی میرود که لازم است، نه به هوای اطراف؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد. در شرایط تولید واقعی، این سیستم ۲۴/۷ کار میکند، بدون هیچ توقف ناخواستهای به دلیل مشکلات حرارتی؛ همچنین، نگهداری این سیستم قابل پیشبینی است، نه واکنشی.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این بخاریها، باید رابط کنترلروی بخاری را با سیستم موجود تطبیق دهید و ولتاژ و جریان لازم را بررسی کنید. انتظار داشته باشید که زمان کمی برای تنظیم حلقه PID برای جرم و بار حرارتی مورد نیاز لازم باشد.
این بخاریها نسبت به پایداری ولتاژ حساس هستند؛ بنابراین، باید ولتازرا تحت کنترل نگه دارید تا نوسانات ولتاژ منجر به نویز دمایی نشود. همچنین، بررسی عناصر این بخاریها باید بر اساس ساعات کاری انجام شود، نه بر اساس تاریخ؛ تا یکنواختی دما در جایی که فرآیند نیاز دارد، حفظ شود.