In der Fertigungshalle kann eine CSP-Anlage auf Waferebene es sich nicht leisten, dass es während des Fotopolymervorgangs oder des Trocknungsprozesses zu Temperaturschwankungen kommt. Eine Abweichung von 1°C beim Weichbrennvorgang oder Hartbrennvorgang führt dazu, dass kritische Abmaße verändert werden. Zudem schadet jede verbleibende Feuchtigkeit nach dem Reinigen der Wafer der Gesamtwirkungsrate. Deshalb haben wir einen Infrarotheizer für diese Prozessschritte entwickelt – schließlich ist dort eine präzise Temperaturkontrolle unerlässlich.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlung, um die Wafer schnell und kontaktlos zu erwärmen – mit einer Präzision von ±0,1°C. Die Quarz-Halogen-Emittoren geben die Energie direkt in das Fotopolymer sowie in das Substrat ab. Dadurch bleibt die Temperaturkonstanz hoch, und das Brennprofil bleibt stabil. Man kann die Temperatur einstellen, und der Schließkreissensor hält sie über die gesamte Charge hinweg konstant – dadurch bleiben Breitenunterschiede sowie Rückstände im Rahmen der Spezifikationen.
Der Heizer ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet: Es entstehen keine Partikel, die Materialien haben eine geringe Ausgasung, und die Oberfläche lässt sich einfach reinigen. Der Heizer arbeitet 24/7, wobei regelmäßige Wartungsarbeiten erforderlich sind. Dadurch entstehen keine unplanmäßigen Stillstände.
Warum dieser Heizer ideal ist:
Dieser Heizer löst die eigentlichen Probleme bei der Trocknung der Wafer, beim Weichbrennvorgang des Fotopolymers sowie bei den anschließenden Aushärtungsschritten. Die schnelle Erwärmung verkürzt die Bearbeitungszeit, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Die stabile Temperatur sorgt außerdem dafür, dass es keine Schwankungen beim Fließen des Fotopolymers gibt. Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer nur dann aktiv wird, wenn es nötig ist – zudem ist die thermische Masse gering. Dadurch entsteht eine konstante Filmdicke, weniger Defekte nach dem Reinigen und ein Prozess, der auch bei hoher Produktionsrate funktioniert. Das Ergebnis ist eine höhere Erfolgsrate bei der ersten Verarbeitungsschritt sowie weniger Ausschuss – was direkt mit der präzisen Temperaturkontrolle zusammenhängt.
Was Sie wissen müssen:
Die Installation erfordert, dass die Anschlüsse des Heizers mit denen Ihrer Plattform übereinstimmen – also die Montagevorrichtungen, Steckertypen sowie die Spannung. Der Heizer funktioniert am besten, wenn der Sichtkanal frei ist und reflektierende Oberflächen richtig gesteuert werden – sonst entstehen Hotspots. Planen Sie außerdem regelmäßige Kalibrierungen des Pyrometers sowie termingerechte Ersetzung der Emittoren ein. So können Sie die gewünschte Präzision von ±0,1°C beibehalten und den Prozess unter Kontrolle halten.