Umgang mit Kontaminationen der Wafer bei hoher Belastung beim Heizen
In einer Halbleiterfabrik ist das Ausfallen einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandzeiten – sondern auch um den Schmutz, der entsteht. Wenn die Quarzkapsel unter hoher Belastung zerbricht, fallen Glasscherben sowie schädliche Verunreinigungen auf die Wafer.
Genau deshalb haben wir unsere UHP-Heizlampen entwickelt. Wir wollten verhindern, dass es zu solcher sekundären Kontamination kommt.
Warum Lampen eigentlich versagen
Die meisten Lampen brechen aufgrund von thermischem Schock oder durch lokale Hitzzentren. Um dies zu vermeiden, verwenden wir synthetischen, hochreinen Quarz. Dadurch bleibt die thermische Ausdehnung gleichmäßig – dadurch bricht das Glas nicht sofort, sobald die Leistung erhöht wird.
Durch die Verwendung reinen Quarzes werden auch die winzigen Mikroverunreinigungen beseitigt. Das sind meist die „Schwachstellen“, an denen unter hohem Stromstrom Stress entsteht – bis schließlich die Lampe zerbricht.
Sauberkeit und Sicherheit gewährleisten
Wir verlassen uns nicht einfach auf Glück – wir haben einen Plan, um Partikel von den Wafern fernzuhalten. Unsere UHP-Lampen verfügen über verstärkte Enddichtungen sowie Beschichtungen, die den Halogenzyklus stabil halten.
Aber: Der Quarz sollte nicht alle Aufgaben alleine übernehmen. Wir empfehlen immer, diese Lampen mit einem zusätzlichen Quarzschutz oder einem Schutzschild zu verwenden. Das ist wie eine Versicherung – falls die Glühfäden ausgehen und die Lampe zerbricht, fängt der Schutzschild die Trümmer auf. So bleibt die Vakuumkammer sauber, und Sie müssen keinen ganzen Bestand an Wafern entsorgen. Das macht die Arbeit im Büro viel einfacher.
Die Abwägungen, die Sie kennen sollten
Hochleistungs-UHP-Lampen eignen sich hervorragend für schnelle Prozesse, die eine präzise Steuerung erfordern. Doch diese hohe Temperatur belastet die Stromversorgung stark. Stellen Sie sicher, dass Ihre PID-Controller richtig eingestellt sind. Wenn es während des Startvorgangs zu Stromspitzen kommt oder die gewünschte Temperatur um einige Grad überschritten wird, verkürzt das die Lebensdauer der Lampen.
Noch ein Tipp: Diese Lampen sind zwar für hohe Belastungen konzipiert, doch sie werden sehr heiß. Überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Kühlsysteme in der Lage sind, die Wärme abzuführen. Sonst könnten die Anschlüsse schmelzen.