Die Aufrechterhaltung einer sauberen Reinraumklasse 100
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, geht es bei der Beheizung nicht nur darum, die Umgebung auf eine bestimmte Temperatur zu bringen. Es handelt sich dabei um einen Kampf gegen Partikel. In Halbleiterfabriken sind die Folgen eines Fehlers besonders schwerwiegend: Ein kleiner Funke aus dem Material oder ein einzelner Metallfragment können dazu führen, dass die Wafer zerstört werden. Um dies zu verhindern, nutzen wir eine spezielle Kombination – hochreinen synthetischen Quarz sowie Leitungen, die mit Teflon isoliert sind.
Der Vorteil des Quarzes
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz für unsere Infrarotlampen, weil er keine Stoffe abgibt. Standardglas oder billigeres Glas neigt dazu, bei hohen Temperaturen Stoffe abzugeben. Das ist in einem Reinraum ein Albtraum. Unser synthetischer Quarz hält dagegen – selbst bei extremen Temperaturen bleibt er fest und gibt keine mikroskopisch kleinen Teilchen ab.
Achten Sie auch auf die Leitungen
Das Heizelement allein reicht nicht aus. Meistens sind es gerade die Leitungen, die versagen. Wir verwenden daher Leitungen, die mit Teflon (PTFE) überzogen sind. Der Grund dafür ist einfach: Sie rauchen nicht und gehen auch bei hoher Hitze nicht kaputt. Wenn man Standard-PVC verwendet, schmelzen die Isolierungen und freisetzen VOCs in die Luft. Das ist nicht gut. Teflon hingegen bleibt stabil. Zudem legen wir die Leitungen sorgfältig an, damit während der Installation nichts reibt oder abbröselt.
Die Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Hochreiner Quarz ist brüchiger als Borosilikat. Man kann nicht einfach irgendwelche Handschuhe tragen – man braucht spezielle, staubfreie Handschuhe. Andernfalls bekommt man Probleme. Zwar sind die Teflon-Leitungen eine große Hilfe beim Heizen, doch man muss vorsichtig sein, wie man sie biegt. Wenn man die Leitung beim Anbringen verkrümmt, kann die Isolierung beschädigt werden. Man muss also langsam vorgehen.
Wie es in der Praxis funktioniert
Diese Lampen strahlen präzise, kurzwelliges Infrarotlicht ab. Der Vorteil dabei ist, dass das Substrat direkt erhitzt wird. Dadurch wird Energie gespart, die sonst zum Erhitzen der Luft oder der Wandungen des Raumes benötigt würde. Dadurch muss die Klimaanlage nicht überlastet werden und die Anzahl der Partikel bleibt im gewünschten Bereich. Es dauert kurz – wirklich sehr kurz. Zudem passen diese Lampen in die engen Räume der Halbleiterfertigung, ohne dass sie den halben Raum einnehmen.