Wie man die Wafer wirklich sauber trocknet
Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist Wärme zwar wichtig – doch sie ist nur die halbe Miete. Das eigentliche Problem sind die Partikel, die dabei entstehen. In einem Reinraum der Klasse 100 kann bereits ein winziger Splitter eines alten Filaments oder ein wenig ausgasender Kleber dazu führen, dass eine ganze Charge an Sensoren zerstört wird. Das ist frustrierend, teuer – und völlig vermeidbar.
Deshalb verwenden wir IR-Lampen aus hochreinem synthetischem Quarz. Diese verursachen keine Kontaminationen.
Warum Quarz tatsächlich funktioniert
Die meisten Heizgeräte nutzen metallische Gehäuse oder keramische Komponenten. Das Problem: Diese Materialien geben im Laufe der Zeit Mikropartikel ab. Unsere Quarzlampen funktionieren anders: Sie nutzen eine Strahlungswärmeübertragung – die Wärme gelangt direkt vom Filament auf die Wafer. Es gibt keinen Mittelsmann, der Stoffe auf die Sensoren transportieren könnte. Wir verwenden eine spezielle Sorte hochreinen Quarzes, damit das Glas auch bei hohen Temperaturen nicht zerfällt oder Gase freisetzt.
Der Kompromiss: Leistung vs. Wärme
Um schnelle Trocknungszeiten zu erreichen, müssen wir viel Leistung in einen sehr kleinen Raum packen. Das funktioniert – die Wafer trocknen schnell. Doch diese hohe Leistung hat einen Nachteil: Die Oberfläche der Lampe wird extrem heiß. Wenn die Kühlventilatoren oder Kühlkörper nicht ausreichen, kann es dazu kommen, dass die Anschlüsse oder der Maschinenrahmen überhitzen. Bevor Sie die Lampen in einen engen Raum einbauen, überprüfen Sie unbedingt den Luftstrom. Dadurch können Sie später viele Probleme vermeiden.
Einfachere Handhabung
Wir wissen, dass Stillstand ein großes Problem ist – deshalb haben wir diese Lampen so konstruiert, dass sie leicht ausgetauscht werden können. Wir verwenden Standardanschlüsse, sodass man einfach die alte Lampe herausnehmen und eine neue einsetzen kann. Es ist nicht nötig, stundenlang alles neu zu kalibrieren.
Außerdem behandeln wir das Quarzmaterial, damit keine Kratzer auf der Oberfläche entstehen. Dadurch bleibt die Wärme gleichmäßig auf der gesamten Waferfläche verteilt – was besonders wichtig ist, da die dünnen MEMS-Membranen sonst beschädigt werden könnten.
Noch ein Tipp: Halten Sie das Glas sauber. Wenn Sie beim Einbau Fingerabdrücke oder Hautöle auf dem Quarz hinterlassen, brennen diese ein. Dann entsteht eine permanente Kaltstelle, und Sie müssen die Lampe ersetzen. Tragen Sie Handschuhe und halten Sie das Glas sauber – dann funktioniert alles reibungslos.