Stoppen Sie das Problem mit den Glasscherben: Halten Sie die Verarbeitung der Wafern sauber
Falls Ihnen schon einmal eine Lampe während eines intensiven Betriebskapazitätsmaximums kaputtgegangen ist, kennen Sie dieses Gefühl. Es geht nicht nur um die Unannehmlichkeit des Stillstands – es ist auch frustrierend, wenn ganze Chargen von Wafern verschwendet werden müssen, weil der Arbeitsbereich plötzlich voller Glasscherben und chemischer Rückstände ist. Es ist ein riesiges Chaos – ein kostspieliges Chaos.
Wir haben unsere ozeongefreien Infrarotlampen speziell entwickelt, damit so etwas nicht passiert.
Das Problem mit Ozon
Bei herkömmlichen Kurzwellenlampen werden Wellenlängen unter 200 nm ausgestrahlt. Das klingt nach einer technischen Feinheit – doch in der Praxis führt das dazu, dass diese Wellenlängen das Sauerstoffgas in der Luft in Ozon umwandeln. In einem Reinraum ist Ozon eine Katastrophe: Es ist korrosiv und zerstört organische Materialien. Zudem stört es den Prozess der chemischen Vapordeposition. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir einen speziellen Quarzkörper verwenden. Dieser fungiert als Filter und blockiert die schädlichen Vakuumultraviolett-Wellenlängen. So bleibt die benötigte Hitze erhalten, ohne dass negative chemische Effekte entstehen.
Warum leuchten die Lampen eigentlich kaputt?
Intensive Betriebsbedingungen sind für Quarz sehr belastend. Der thermische Druck ist extrem hoch. Die meisten Lampen versagen, weil der Glühfaden verdampft und dadurch „heiße Punkte“ entstehen, die schließlich zur Zerstörung der Lampe führen. Um das zu verhindern, verwenden wir hochreines Halogengas. Dadurch bleibt der Glühfaden stabil und verschleißt nicht vorzeitig.
Außerdem spielen die Dichtungen eine wichtige Rolle. Bei maximaler Leistung entsteht eine große Temperaturdifferenz zwischen dem Zentrum der Lampe und ihren Enden. Wenn die Dichtungen schwach sind, beginnt es dort zu tropfen. Wir haben unsere Endkappen verstärkt, damit die innere Druckverhältnisse konstant bleiben, selbst bei extremen Temperaturen.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Keine Lampe ist unzerstörbar. Aufgrund des Filterlayers in unseren ozeongefreien Quarzlampen unterscheidet sich die Lichtausbeute etwas von der einer herkömmlichen Quarzlampe. Vielleicht müssen Sie die Leistung um 2–5 % erhöhen oder die Timer anpassen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Außerdem: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühllüfter. Stellen Sie sicher, dass sie die hohe Wärmebelastung am Ende der Lampe bewältigen können – sonst können die elektrischen Kontakte beschädigt werden.