Vermeiden Sie Schäden an den Wafern: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn Sie Hochleistungs-IR-Lampen verwenden
Seien wir ehrlich: Wenn eine IR-Lampe in einer Halbleiterfabrik versagt, ist das ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine stehen bleibt – es entsteht außerdem Chaos. Glasstücke und verdampfter Wolfram fallen auf die Wafer herab. Ein defekter Lampenkolben kann bereits innerhalb weniger Sekunden ganze Chargen von Wafern zerstören. Das ist sicherlich nicht das, was man an einem Dienstag erleben möchte.
Umgang mit der Hitze
Wir bauen unsere Goldreflektorlampen so, dass sie den hohen Temperaturbedingungen standhalten können, die beim Erwärmen der Wafer entstehen. Die meisten Lampen versagen an der Stelle, an der die Elektroden auf das Quarzmaterial treffen. Um das zu verhindern, verwenden wir hochreines fusioniertes Quarz. Dieses Material hält besser stand und verformt sich nicht, wenn die Temperaturen sehr hoch werden.
Und dieser Goldreflektor? Er dient nicht nur als Dekoration. Er lenkt das IR-Licht genau dorthin, wo es benötigt wird – dadurch gelangt weniger Wärme zurück in den Lampenkörper. Wenn der Lampenkörper kühler bleibt, entstehen keine schädlichen thermischen Schocks, wenn die Leistung erhöht wird.
Vermeidung von Schmutz
Das Ziel ist einfach: Den Schmutz im Inneren der Lampe halten und ihn draußen lassen. Wir verwenden einen speziellen Verschlussmechanismus, um Gaslecks zu verhindern und somit einen „Ausfall“ der Lampe zu vermeiden – wie es bei billigen Halogenlampen der Fall ist. Doch Unfälle passieren trotzdem. Falls eine Lampe versagt, möchten Sie, dass die Schäden begrenzt bleiben. Deshalb empfehlen wir immer den Einsatz von Quarzschilden als Schutz für Ihre teuren Wafer. Das ist eine einfache physische Barriere zwischen dem Heizelement und den Wafern.
Die Realitätsbedingungen
Wenn man eine hohe Intensität des IR-Lichts haben möchte, braucht man eine hohe Leistungsaufnahme. Dadurch entsteht zwar Wärme, doch auch die Stromversorgung sowie die Kühlsysteme müssen damit umgehen können. Wenn die Kühlluft nicht ausreicht, um den Strahl des Goldreflektors zu bewältigen, werden die Enden der Lampen viel zu schnell beschädigt. Nutzen Sie daher unbedingt Kabel mit hoher Temperaturbeständigkeit. Niemand möchte mit geschmolzenem Isoliermaterial umgehen müssen.