In einer 24/7 betriebenen Produktionslinie führt ein Ausfall der Heizlampe des Verdampfers nicht nur dazu, dass eine bestimmte Maschine außer Betrieb geht. Dadurch wird auch der Lithografieprozess gestört, das thermische Gleichgewicht wird beeinträchtigt und die Eigenschaften des Fotolacks verändern sich. Die Betriebszeit wird in Minuten gemessen – und die Temperaturgenauigkeit ist einfach unverhandelbar.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben die Heizlampe des Evatec-Verdampfers mit Halogenelementen im Kurzwelleninfrarotbereich ausgestattet. Dadurch wird eine direkte Strahlungsausbreitung gewährleistet – mit geringer thermischer Trägheit. Dadurch kann die Temperatur schnell angehoben werden, die Homogenität bleibt hoch, und die Kontrolle über die Temperatur auf der Wafer-Oberfläche liegt innerhalb von ±0,1°C. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 wird durch einen versiegelten Quarzkörper sowie einen Prozess zur Steuerung der Partikelzahl gewährleistet. So bleibt die Wafer-Oberfläche frei von Verunreinigungen. Die Lampe kann kontinuierlich betrieben werden, ohne dass es zu unplanmäßigen Stillständen kommt. Sie hält mehr als 5.000 Stunden lang durch, wobei der Leistungseinbruch weniger als 5% beträgt.
Warum das für den „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozess wichtig ist
Dank dieser Präzision erhalten Sie konstante Eigenschaften des Fotolacks – weniger Nachbearbeitungen, bessere Kontrolle über die Dicke des Fotolacks sowie zuverlässige Ergebnisse. Die schnelle Reaktionszeit verkürzt die Zeit des Inaktivseins der Maschine und sorgt für eine bessere Wiederholgenauigkeit zwischen den verschiedenen Prozessschritten. Dadurch wird die Einrichtung der Maschine zwischen verschiedenen Chargen vereinfacht. Sie können den Energieverbrauch optimieren, ohne die Produktivität zu beeinträchtigen. Zudem bedeutet weniger Austausch der Lampen weniger Ersatzteile und weniger Unterbrechungen im Betrieb.
Erforderliche Installation und Bedienung
Die Lampe passt in die Evatec-Verdampfer mit dem entsprechenden Anschluss und der notwendigen Wärmeübertragungsstruktur. Es sind auch Nachrüstkits erhältlich – doch bei der Installation muss auf die richtige Ausrichtung sowie die Sauberkeit des Reflektors geachtet werden. Die Leistungsstärke und die thermische Belastung müssen zum Design der Kammer passen. Wenn man die Grenzwerte überschreitet, verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe. Die Lampe muss in einem Reinraum installiert werden – und die Einstellungen müssen so gewählt werden, dass die Prozesskonstanz erhalten bleibt.