传感器 on Warm IR Gold Coating Heaters

晶圆处理设备用温度传感器

Wed, 29 Jul 2026 03:57:25 +0800

为什么我们要使用红外线固化技术来处理晶圆工具？
如果你们需要遵循无铅或环保标准，那么你们肯定知道其中带来的压力有多大。不能只是勉强满足这些要求，而必须做到完美达标。这时，红外线固化技术就派上用场了。

想象一下传统的对流式烤箱：它需要加热整个房间才能让一块晶圆升温，这显然是浪费资源的行为。而红外线灯则不同——它可以将能量直接照射到晶圆表面。这种加热方式既直接又高效。

Sun, 26 Jul 2026 13:58:37 +0800

如何准确控制晶圆的温度（无需再凭猜测行事）
如果您正试图打造一家“智能工厂”，那么您一定明白，手动采样其实是一种极其麻烦的方法。它既慢又繁琐，而且根本无法反映晶圆上实际发生的状况。

Tue, 21 Jul 2026 02:16:03 +0800

制造氢气传感器需要极高的精度。传感膜必须保持绝对稳定，这就要求热控制必须十分精确。我们设计的加热器就是为了满足这样的严格要求，不过说实话，控制温度其实还算比较容易的。

真正棘手的问题在于电气隔离问题。只要绝缘层上有哪怕一个微小的孔隙，或者石英材料中出现一丝裂纹——这些缺陷几乎难以察觉——整个传感器就会发生短路。这无疑是一场灾难的前兆。

因此，我们不会只测试少数几个传感器，而是会对每根传感器进行全面的电压耐受性和绝缘电阻测试。我们会用高电压对它们进行测试，以确保电介质屏障能够在高压环境下依然保持稳定。

Fri, 17 Jul 2026 02:11:34 +0800

为什么我们选择使用红外固化技术来处理智能传感器
在为智能传感器进行封装时，我们必须确保粘合剂能够完全干燥，芯片也能得到恰当的封装。长期以来，人们一直使用对流式烤箱来达到这一目的。但实际上，那种烤箱就像巨大的吹风机——它只是让房间里的空气变热，从而加热部件。

Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800

在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是其中一半的关键因素。真正的问题在于微粒的污染。在100级洁净室中，哪怕是一小块旧的灯丝碎片或少量从胶水中释放出的物质，都可能立刻毁掉整批传感器。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本，但实际上是可以避免的。

因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。因为这种灯不会产生任何污染。

大多数加热器都是用金属或陶瓷材料制成的。问题在于，这些材料会随着时间的推移而释放出微粒。而我们的石英灯则采用辐射热传递方式，热量直接从灯丝传递到晶圆上，中间没有介质，自然也就不会产生污染物。我们使用的都是高品质的石英材料，即使温度极高，玻璃也不会破裂或释放气体。