为什么我们要使用红外线固化技术来处理晶圆工具？
如果你们需要遵循无铅或环保标准，那么你们肯定知道其中带来的压力有多大。不能只是勉强满足这些要求，而必须做到完美达标。这时，红外线固化技术就派上用场了。
想象一下传统的对流式烤箱：它需要加热整个房间才能让一块晶圆升温，这显然是浪费资源的行为。而红外线灯则不同——它可以将能量直接照射到晶圆表面。这种加热方式既直接又高效。
由于我们使用的是短波或中波红外线，能量可以直达晶圆本身，无需浪费时间去加热大量的空气，也不需要使用溶剂作为介质。热量直接作用于晶圆，而不会影响到工具的墙壁。这样一来，不仅能降低能耗，还能保持洁净室的环境整洁。
另外，红外线固化技术还具有“清洁”的优点。传统固化工艺通常需要化学催化剂或极高的温度，从而产生挥发性有机化合物。没人希望这些物质进入肺部或污染生产环境。而红外线固化技术则不需要这些添加剂，因此可以实现干净、无污染的固化过程。
不过，这种技术也有其缺点。红外线灯会在短时间内释放出大量热量。虽然可以快速固化晶圆，但如果没有有效的冷却系统，室温就会上升，进而导致传感器读数出现偏差。为避免这种情况，我们总是将红外线灯与高精度温度计一起使用，从而确保温度不会过高。
在日常使用中，这种技术也非常简单。如果某个灯坏了，只需更换即可，无需花费数小时来重新调整整个系统的温度设置。此外，由于没有风扇或鼓风机，也就不会产生灰尘。较少的运动部件意味着更少的污染物，从而能保持洁净室的标准。