Ổ đèn hồng ngoại cho dụng cụ wafer

Mon, 08 Jun 2026 02:56:52 +0800

Trên sàn wafer, việc nướng photoresist không phải là một cuộc tranh luận—đó là năng suất, đơn giản là như vậy. Sự trôi lệch nửa độ trong quá trình nướng mềm hoặc nướng cứng sẽ ảnh hưởng đến việc kiểm soát kích thước quan trọng, và một đợt tăng hạt có thể phá hủy toàn bộ lô hàng. Đó là lý do tại sao ổ cắm đèn hồng ngoại trên thiết bị của bạn xứng đáng nhận được cùng mức độ kỹ thuật như bạn dành cho quang học và bệ.

Những gì quan trọng bên trong

Chúng tôi thiết kế ổ cắm đèn hồng ngoại cho các công cụ wafer xung quanh việc cung cấp nhiệt lặp lại. Nguồn NIR được chọn để năng lượng truyền tải nhanh chóng và trực tiếp vào các hệ thống dựa trên thạch anh, đạt được các đặc tính sóng ngắn và sóng trung mà không bị quá mức. Độ đồng nhất nhiệt trong vùng nướng giữ trong khoảng ±0.1°C, vì vậy photoresist nhận được cùng ngân sách nhiệt, chạy qua nhiều lần.

Socket on Warm IR Gold Coating Heaters

Ổ đèn hồng ngoại cho dụng cụ wafer

Những gì quan trọng bên trong