http://warm-ir-gold-heater.com/uk/tags/%D0%B4%D1%83%D1%85%D0%BE%D0%B2%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Духовка on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo uk Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/uk/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/uk/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Піч для чистих приміщень з інфрачервоним нагрівачем"></p> <p>На поверхні площадки для літографії достатньо напрямку зміни температури на півградуса під час обробки фоторезисту, щоб це вплинуло на критичні параметри та призвело до зіпсовання великої кількості пластин. У чистій кімнаті класу 1–100 нагрівач повинен забезпечувати стабільну температуру без утворення частинок чи змін температури протягом процесу обробки. Ми розробили інфрачервоні нагрівачі для наших чистих кімнат так, щоб вони були основою цього процесу, а не додатковим елементом.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо інфрачервоні елементи з швидкою реакцією та точним контролем спектру випромінювання. Це дозволяє пластині отримувати тепло безпосередньо, а не через стінки камери. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C по всій зоні обробки, а стабільність температури – понад ±0,2°C під навантаженням. Повторюваність температури між серіями обробки залишається менше 0,3°C, тож параметри процесу залишаються стабільними.</p>