http://warm-ir-gold-heater.com/tr/tags/f%C4%B1r%C4%B1n/ Recent content in Fırın on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/tr/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/tr/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Temiz oda fırını kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında yarım derecelik bir sapma bile kritik boyutlarda değişikliklere neden olabilir ve bu da çok sayıda waferin boşa <a href="https://goldisgood.com">gitmesine</a> yol açabilir. Class 1–100 temiz oda ortamlarında, ısıtıcının parçacık üretmemesi ve sıcaklıkta dalgalanmalar olmaması gerekir. Bizim temiz oda fırınlarımızdaki kızılötesi ısıtıcılar, bu sürecin temelini oluşturacak şekilde tasarlanmıştır; ek bir unsur olarak değil.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> Hızlı tepki veren ve spektral kontrolü sağlayan kısa dalga boylu kızılötesi elemanlar kullanılır. Böylece ısı doğrudan wafer ve taşıyıcıya aktarılır; odanın duvarlarına değil. Bu sayede ısıtma bölgesinde waferler arasındaki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalır ve yük altında sıcaklık istikrarı ise ±0,2°C’nin altında tutulur. Üretimden üretime sıcaklık tekrarlanabilirliği ise 0,3°C’nin altında kalır; böylece yumuşak ve sert ısıtma prosedürleri her parti için sabit kalır.</p>