Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında yarım derecelik bir sapma bile kritik boyutlarda değişikliklere neden olabilir ve bu da çok sayıda waferin boşa gitmesine yol açabilir. Class 1–100 temiz oda ortamlarında, ısıtıcının parçacık üretmemesi ve sıcaklıkta dalgalanmalar olmaması gerekir. Bizim temiz oda fırınlarımızdaki kızılötesi ısıtıcılar, bu sürecin temelini oluşturacak şekilde tasarlanmıştır; ek bir unsur olarak değil.
Teknik açıdan önemli olanlar Hızlı tepki veren ve spektral kontrolü sağlayan kısa dalga boylu kızılötesi elemanlar kullanılır. Böylece ısı doğrudan wafer ve taşıyıcıya aktarılır; odanın duvarlarına değil. Bu sayede ısıtma bölgesinde waferler arasındaki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalır ve yük altında sıcaklık istikrarı ise ±0,2°C’nin altında tutulur. Üretimden üretime sıcaklık tekrarlanabilirliği ise 0,3°C’nin altında kalır; böylece yumuşak ve sert ısıtma prosedürleri her parti için sabit kalır.
Isıtıcı paketi temiz oda koşullarına uygundur: Düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlenmiş bağlantılar ve kirlerin birikmesini engelleyen dış yüzeyler bulunur. Çıkış gücü, kapalı döngülü izleme özelliklerine sahip katı hal röleleri tarafından kontrol edilir ve her cihazla birlikte kalibrasyon eğrisi de verilir.
Üretimde neden işe yarar? Fotoresist işlemleri için sıcaklık kontrolü son derece önemlidir. Kızılötesi ısıtıcılarımız, waferleri hızlıca ısıtır ve ardından sıcaklığı sabit tutar; böylece ısıtma süresi kısalarak fotoresist profilinin korunmasını sağlar. Tasarım, parçacık üretimini sıfıra yakın seviyede tutar; böylece verimlilik açısından herhangi bir kayıp yaşanmaz.
Isı, gereken yere gider; çevredeki havaya değil. Böylece enerji tüketimi azalır. Gerçek üretim koşullarında sistem, termal döngü hataları nedeniyle plansız arızalar olmadan 24/7 çalışır ve bakım işlemleri de öngörülebilir şekilde yapılır.
Planlamanız gerekenler Montaj işlemi, fırın kontrolörünün arayüzüne uyum sağlamak ve mevcut besleme sistemiyle voltaj ve akım değerlerini doğrulamaktan ibarettir. PID döngüsünü ayarlamak için kısa bir kurulum süresi gereklidir.
Bu ısıtıcılar, hat voltajının stabilitesine oldukça hassastır; bu yüzden voltajın düzenli olması gerekmektedir ki ani değişiklikler sıcaklık dalgalanmalarına neden olmasın. Ayrıca, elemanların kontrolü takvim zamanına göre değil, kullanım saatlerine göre yapılmalıdır; böylece sıcaklık homojenliği sürecin ihtiyaç duyduğu seviyede kalır.