http://warm-ir-gold-heater.com/ru/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ru Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа для высушивания резиста для глубокого УФ облучения (DUV)"></p> <p>На этапе литографии отклонение температуры в 0,2°C во время процедуры просушки фоторезиста не является незначительной погрешностью – это серьезно сказывается на качестве продукции. Фоторезист зафиксирует свои критические размеры в первые минуты термической обработки. Процедура просушки контролирует процесс удаления растворителя, напряжения в слое фоторезиста и образование избыточных слоев на краях пластины. Если температурное равномерие нарушается, возникают проблемы с формой элементов на пластине, появляются лишние линии, а также отклонения в размерах элементов, что может привести к списанию целых партий продукции.</p>