Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем

Mon, 29 Jun 2026 03:14:37 +0800

На этапе литографии достаточно полуградусного смещения температуры во время обработки фотополимера, чтобы нарушить точность размеров изделий, что приводит к списанию большого количества пластин. В чистой комнате класса 1–100 нагреватель должен обеспечивать стабильную температуру без образования частиц или смещений температуры. Мы разработали инфракрасные нагреватели для использования в таких условиях – они служат основой для поддержания стабильной температуры, а не дополнительным устройством.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем инфракрасные элементы с быстрой реакцией и точным спектральным контролем. Благодаря этому тепло поступает непосредственно на пластину, а не на стены камеры. Это обеспечивает однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C во всей зоне обработки. Стабильность температуры при работе составляет более ±0,2°C. Повторяемость температуры при последовательных процедурах обработки также остается в пределах 0,3°C. Таким образом, параметры процесса сохраняются стабильными на протяжении всего цикла производства.

Духовка on Warm IR Gold Coating Heaters

Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем