http://warm-ir-gold-heater.com/pl/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo pl Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/pl/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/pl/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampa do wysuszania odpornika na głębokie UV (DUV)"></p> <p>W procesie litografii odchylenie temperatury o 0,2°C podczas procesu suszenia nie jest drobnostką – to wpływa na jakość produktu. Fotorezyst UV utrzymuje swoje kluczowe wymiary w pierwszych minutach procesu termicznego, a etap suszenia kontroluje usuwanie rozpuszczalników, napięcia w warstwie fotorezystu oraz problemy z jego brzegami. Gdy dochodzi do niejednorodności temperatury, powstają różne problemy, takie jak linie na powierzchni materiału czy odchylenia w wymiarach CD, co może doprowadzić do porzucenia całych partii produktów.</p>