HEATER VOOR SEM (Scanning Electron Microscope)

Fri, 19 Jun 2026 02:38:51 +0800

Op de productielijn vervallen de toleranties voor inspectie met een SEM zodra het monsterplatform begint te verschuiven. Een temperatuurschommeling van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotorester of tijdens het maken van belangrijke afbeeldingen, heeft tot gevolg dat de lijndikte verandert en het contrast verstoord wordt. Hierdoor moet het apparaat opnieuw worden gevalideerd. Je hebt dus een betrouwbare verwarming nodig: één die voorspelbaar is, zuiver werkt en herhaalbaar is.

Wat technisch gezien belangrijk is
We hebben de heater voor de SEM ontworpen met een gecontroleerd thermisch gedrag. De heater maakt gebruik van kortegolflengte-infrarood licht, zodat hij snel reageert en zich binnen enkele seconden op het gewenste temperatuurniveau bevindt. Over het hele actieve gebied blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, zodat temperatuur geen probleem vormt in de lithografische meting.

Elektron on Warm IR Gold Coating Heaters

HEATER VOOR SEM (Scanning Electron Microscope)