Cara Menghasilkan Panas di Bilik Bersih Tanpa Menimbulkan Kekotoran
Menghasilkan panas di bilik bersih untuk pemprosesan semikonduktor merupakan perkara yang agak rumit jika tidak dilakukan dengan berhati-hati. Sedikit kesilapan pun boleh menyebabkan kewujudan kekotoran di mana-mana sahaja. Itulah sebabnya kami menggunakan kaedah pemanasan menggunakan gelombang inframerah (IR) untuk pemanas yang digunakan dalam bilik bersih tersebut.
Tidak perlu menggunakan udara panas yang dipaksa masuk ke dalam bilik tersebut. Tidak perlu juga menggunakan bahan kimia yang berbahaya. Yang diperlukan hanyalah panas yang bersih dan efisien. Ini merupakan cara paling mudah untuk mencapai matlamat penggunaan bahan yang bebas plumbum serta mesra alam, tanpa perlu risau akan masalah yang mungkin timbul.
Bagaimana IR berfungsi
Bayangkanlah begini: kita tidak cuba memanaskan udara di dalam bilik tersebut. Itu merupakan pembaziran masa dan membahayakan wafer yang sedang diproses, kerana debu boleh terbang ke atas wafer tersebut. Sebaliknya, tenaga IR akan sampai terus ke bahagian yang perlu dipanaskan. Ia sama seperti berdiri di bawah sinar matahari pada hari yang sejuk – kita akan merasakan kehangatan dengan segera, walaupun udara di sekeliling kita sangat sejuk. Kerana tenaga IR sampai secara langsung, bahan tersebut akan panas dengan cepat, dan kita tidak perlu menggunakan banyak tenaga elektrik untuk memanaskan udara di sekitarnya.
Butiran mengenai penggunaan IR
Untuk pemanas yang digunakan, kami biasanya menggunakan pemancar gelombang pendek atau sederhana. Pemancar ini mampu menghasilkan banyak haba dalam ruang yang kecil. Kami juga menggunakan kapsul kuarsa, kerana ia tidak mengeluarkan gas berbahaya, sekali gus menjaga kebersihan udara di dalam bilik tersebut.
Untuk memastikan suhu tetap stabil, kami menggunakan pengawal PID. Alat ini memastikan suhu kekal dalam lingkungan ±1°C. Sangat tepat.
Namun, ada satu perkara yang perlu diperhatikan: pastikan kepadatan tenaga yang dihasilkan tidak terlalu tinggi. Jika lampu menghasilkan terlalu banyak haba dan pemanas bergerak terlalu perlahan, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, yang boleh merosakkan bahan yang diproses. Kami biasanya menggunakan pelantun cahaya untuk memastikan tenaga sampai ke tempat yang sepatutnya.
Kelebihan dan kekurangan
Kelebihannya ialah ia merupakan cara yang “mesra alam”. Bahan kimia berbahaya dapat dielakkan, dan jejak karbon fasiliti tersebut juga berkurangan. Selain itu, sistem ini jauh lebih kecil berbanding sistem ketuhar lama yang kompleks. Anda hanya perlu menggantikan sistem lama dengan sistem IR ini sahaja.
Namun, ia bukanlah sistem yang sempurna. IR memerlukan pandangan yang jelas ke arah bahan yang perlu dipanaskan. Jika bahan tersebut mempunyai bentuk yang aneh atau lubang yang dalam, haba tidak akan sampai ke semua sudut bahan tersebut. Anda perlu menyesuaikan kedudukan lampu atau menggunakan alat khas untuk memastikan setiap permukaan mendapat haba yang secukupnya.