Mendapatkan suhu wafer yang tepat (tanpa perlu tekaan)
Jika anda ingin membina “Smart Fab”, anda pasti sudah menyedari bahawa kaedah pengambilan sampel secara manual merupakan cara yang sangat tidak efektif. Prosesnya lambat, memakan masa, dan sebenarnya ia tidak memberikan maklumat yang tepat tentang apa yang sedang berlaku pada masa itu.
Inilah di mana sensor IR berketepatan tinggi masuk ke dalam gambaran. Sensor ini membolehkan kita melihat profil suhu wafer berukuran 300mm dalam masa milisaat sahaja, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer tersebut. Ini merupakan satu-satunya cara untuk mendapatkan kelajuan dan ketepatan yang diperlukan.
Cara ia berfungsi
Sensor-sensor ini akan mengesan radiasi elektromagnetik yang dipancarkan oleh permukaan wafer. Data mentah tersebut akan dikirim terus ke sistem PLC atau SCADA anda. Anda dapat melihat tahap keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer secara langsung. Jika ada kawasan yang terlalu panas, sistem akan segera menyesuaikan suhu pemanasan tersebut. Tidak perlu lagi berharap semoga hasilnya akan baik.
Memastikan peralatan berfungsi dengan baik
Untuk memastikan “Smart Fab” berfungsi dengan baik, peralatan-peralatan tersebut perlu berkomunikasi antara satu sama lain. Kami memastikan sistem IR kami menggunakan isyarat standard, seperti 4-20mA atau protokol digital, supaya ia boleh disambungkan terus ke sistem data sedia ada. Dengan cara ini, anda dapat menggunakan data tersebut untuk mengawal mesin tersebut.
Realiti
Sejujurnya, sensor IR berketepatan tinggi bukanlah alat ajaib yang boleh digunakan untuk semua situasi. Sensor-sensor ini memerlukan pandangan yang jelas. Jika terdapat wap atau kotoran pada tingkap pandangan, bacaan suhu akan menjadi tidak tepat. Ini memang menyebabkan kekecewaan, tetapi itulah realiti fizik. Anda perlu merancang langkah-langkah untuk mengatasinya. Sama ada dengan menjadualkan penyelenggaraan berkala pada sistem optik, atau memasang sistem pembersihan untuk memastikan lensa tetap bersih. Jika tingkap tersebut kotor, data yang diperoleh hanyalah data yang tidak berguna. Memang memerlukan usaha tambahan, tetapi itulah harga yang harus dibayar untuk mendapatkan ketepatan yang diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor.