서론 웨이퍼 산화 과정은 극도로 혹독한 환경입니다. 매일같이 엄청난 열을 견뎌내야 하며, 결코 멈추어서는 안 됩니다. 조금의 타협도 용납되지 않습니다. 그래서 우리는 그러한 환경에서도 버텨낼 수 있는 히팅 램프를 만들었습니다. 최고급 석영과 고순도 텅스텐을 사용합니다...

웨이퍼 가공 공정에서, 깨끗하게 세척된 웨이퍼의 청결도는 최종 건조 단계에서 결정됩니다. 물자국, 미세 입자, 포토레지스트의 부착 문제들은 모두 불균일한 열 분포나 오염 요인 때문에 발생합니다. 세척 후에는 더 이상 추측할 여지가 없습니다. 기술적으로 중요한 점 우리...

제조 현장에서는 알다시피, 베이킹 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이로 인해 몇 시간에 걸쳐 진행된 리소그래피 작업이 모두 무너질 수 있죠. 중파 적외선 히터는 바로 이러한 오차가 발생하기 전에 그것을 막아줍니다. 실제로 중요한 것은...