더러워지지 않고 청정실에 열을 공급하는 방법
반도체 청정실에 열을 공급하는 것은 조심하지 않으면 큰 문제가 될 수 있습니다. 실수 하나로 인해 곳곳에 오염이 생길 수 있죠. 그래서 우리는 트롤리형 히터에 적외선 기술을 사용합니다.
강제적인 뜨거운 공기나 유해한 화학 용매는 필요 없습니다. 깨끗하고 효율적인 열만 있으면 됩니다. 이 방식은 “무납” 및 친환경적인 목표를 달성하는 가장 좋은 방법입니다.
적외선이 실제로 어떻게 작동하는가?
생각해보면, 우리는 방 안의 공기를 데우려는 것이 아닙니다. 그건 시간 낭비일 뿐만 아니라, 웨이퍼에 먼지가 묻을 위험도 있습니다. 대신, 적외선 에너지는 직접 부품에 전달됩니다. 마치 추운 날에 햇볕 아래 서 있는 것과 같습니다. 주변 공기가 얼어붙어 있어도 즉시 따뜻함을 느낄 수 있습니다. 이처럼 직접적인 열 전달 덕분에 부품이 훨씬 빠르게 따뜻해집니다. 또한, 공기를 데우는 데 에너지를 낭비할 필요도 없습니다.
설치에 관한 세부 사항
트롤리형 히터의 경우, 보통 단파나 중파 방출기를 사용합니다. 이러한 방출기는 작은 공간 안에서도 많은 열을 생성할 수 있습니다. 또한, 석영 소재의 커버를 사용하여 유해한 가스가 발생하지 않도록 합니다. 이렇게 하면 공기가 깨끗하게 유지됩니다.
온도를 일정하게 유지하기 위해 PID 컨트롤러를 사용합니다. 이를 통해 온도를 ±1°C 범위 내로 유지할 수 있습니다. 정말 정밀합니다.
하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 확인해야 합니다. 만약 램프가 너무 많은 열을 발생시키고 트롤리가 너무 느리게 움직인다면, 특정 부분만 과도하게 달아오를 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 반사판을 사용하여 에너지가 정확히 필요한 곳에 도달하도록 합니다.
장단점
가장 좋은 점은 이 방식이 친환경적이라는 것입니다. 화학 용매로 인한 VOC가 없으며, 시설의 탄소 배출량도 줄어듭니다. 게다가, 구식 오븐 시스템보다 훨씬 작습니다. 그냥 교체하기만 하면 됩니다.
하지만 완벽하지는 않습니다. 적외선은 명확한 시야가 필요합니다. 부품의 모양이 복잡하거나 깊은 구멍이 있다면, 열이 모든 곳에 도달하지 못할 수 있습니다. 그러므로 램프의 위치를 조절하거나 회전식 장치를 추가하여 모든 표면에 골고루 열이 전달되도록 해야 합니다.