http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>ウェーハを本当にきれいに乾燥させるために<br> MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室でも、古くなったフィラメントの破片や接着剤の分解物といった微小な粒子が、一瞬で大量のセンサーを破壊してしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかりますが、避けられる問題です。</p>