http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="深紫外線 DUV レジストベイクランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ソフトベイク中に0.2℃の温度変動が生じると、それは些細な問題ではなく、<a href="https://o-yate.com">歩留</a>まりに悪影響を与えます。DUVフォトレジストは、加熱処理を開始してから数分以内にその重要な寸法が決定されます。ベイク工程では、溶剤の除去やフィルムの応力、エッジ部分の問題を制御します。もし温度が均一でなければ、回路形状に不具合が生じたり、CD値にばらつきが出たりして、大量のワークが廃棄されることになります。</p> <h3 id="内部で何が重要か">内部で何が重要か</h3> <p>私たちは、近赤外線を利用したDUVレジストベイクランプを使用しています。このランプにより、サブミリメートル単位での均一な温度分布が実現され、ウェーハレベルでの再現性が保証されます。反射型のヒートプロファイルは、ヒーターの出力だけでなく、ウェーハの形状にも合わせて調整されます。300mmウェーハ全体にわたって、ベイクゾーンでは厳格な温度管理が行われ、フォトレジストのベイク温度が一定範囲内に保たれ、フィルムスタックの熱的安定性が維持されます。このシステムはクリーンルームクラス1～100に<a href="https://goldisgood.com">適合</a>しており、材料やシール材も選定されているため、ベイク時に粒子が発生することがありません。</p>