ウェーハ加工ツール用温度センサー

Wed, 29 Jul 2026 03:57:17 +0800

なぜウェーハ処理に赤外線硬化法を用いるのか？もし、無鉛化や環境に優しい製品を作る必要がある場合、そのプレッシャーはご存知でしょう。単に要求事項に近づくだけでは不十分で、完璧にそれを満たす必要があります。そこで役立つのが赤外線硬化法です。通常の対流式オーブンを考えてみてください。皿を温めるために部屋全体を暖める必要があります。これは無駄なエネルギーの消費です。一方、赤外線ランプは異なります。エネルギーを直接ウェーハ表面に向けて照射します。 直接的で、迅速です。 短波または中波の赤外線を使用するため、エネルギーは直接基材に届きます。大量の空気を温めたり、溶剤ベースの媒体を使ったりする手間が省けます。熱は本来あるべき場所、つまりウェーハ内部に行きます。その結果、電気代が削減され、工場のスペースも小さく済みます。さらに、「クリーン」な点もあります。従来の硬化法では、化学的触媒や高い温度が必要で、その結果、揮発性有機化合物（VOC）が発生します。誰もそのような物質を自分の肺や製造工程に入れたくありません。しかし、赤外線硬化法ではそのような添加剤は不要です。無鉛汚染や有害な蒸気の心配もなく、乾燥した状態での処理が可能です。ただし、注意点もあります。これらのランプは、ごく短い時間で大量の熱を発生させます。ウェーハを数秒で硬化させることができますが、冷却システムが十分でなければ、周囲の温度が上昇し、センサーの読み値が不安定になります。これは大変な問題です。これを防ぐために、常に高精度の温度計をランプと一緒に使用します。そうすることで、過度に高温になるのを防ぎます。日常的には、とてもシンプルです。ランプが壊れたら、単純に交換すればいいのです。複雑な調整を行う必要はありません。また、加熱エリアで粉塵を巻き上げるファンやブロワーもありません。動く部品が少ないため、粒子も少なく、クリーンルームの環境が維持されます。

温度 on Warm IR Gold Coating Heaters

ウェーハ加工ツール用温度センサー