http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%8E%83/ Recent content in 清掃 on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 01:50:43 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ Sun, 28 Jun 2026 01:50:43 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="清掃後のウェーハの乾燥方法"></p> <p>製造現場において、洗浄されたウェーハの清潔度は、<a href="https://o-yate.com">最終的</a>な乾燥工程で決まります。水痕や微粒子、フォトレジストの付着問題は、不均一な加熱条件や汚染要因に起因しています。洗浄後は、もはや推測の余地はありません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、制御された熱供給に基づいて乾燥工程を構築しています。NIR技術を用いることで、ウェーハ全体の温度を±0.1℃の精度で一定に保つことができ、その結果、表面全体での蒸発が均一に行われます。クリーンルームとの互換性も確保されており、クラス1～100の環境下で、粒子の発生を防ぎ、密閉された熱伝達経路が<a href="https://goldisgood.com">実現</a>されます。これにより、ウェーハへの負担をかけずに、再現性の高い残留物除去が可能になります。</p>