省エネ型半導体ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 02:25:35 +0800

なぜ半導体製造において、熱風を使わずに赤外線加熱を採用するのか？対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェハーを加熱します。これは非常に緩やかなプロセスです。ディーププロセッシングの世界では、このような遅れは単なる無駄な時間に過ぎません。だからこそ、私たちは巨大な送風機を使うのをやめ、赤外線加熱に切り替えました。部屋全体を温める代わりに、エネルギーを直接基板に照射するのです。 時間は常に進んでいく 対流式加熱は非常に遅いです。適切な温度になるまで何分も待たなければなりません。一方、赤外線ランプを使えば、数秒で目的の温度に到達します。ほぼ即時です。部品の周囲の空気を温める時間が省けるため、サイクルタイムが大幅に短縮されます。より多くのウェハーを処理でき、クリーンルームの規模を拡大する必要もありません。 適切な温度を実現する 熱風の場合、場所によって温度が不均一になりがちです。一方、赤外線加熱では、熱を特定の領域に集中させることができます。材料に合った波長のランプを選べば、熱の吸収がより一貫して行われます。このような高い熱密度を得るために、石英製のケース内にハロゲンフィラメントを使用しています。これにより、狭い空間に大量のエネルギーが集中し、高速に切り替え可能なコントローラーと組み合わせることで、リアルタイムで温度を調整できます。 注意点（必ずあるものです） もちろん、赤外線加熱も万能ではありません。エネルギーが強すぎるため、PID制御がうまく機能しなければ、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、反射板の設定も慎重に行う必要があります。正しく設定しなければ、ウェハーではなく装置自体が加熱されてしまいます。さらに、ランプの近くの高温に耐えられる冷却システムも必要です。そうでなければ、部品が破損してしまいます。それでも、古い対流式オーブンを使い続けるのではなく、赤外線加熱を採用する方が良いでしょう。そうすれば、加熱工程が生産のボトルネックになることはありません。

高純度クォーツ加熱素子

Fri, 03 Jul 2026 03:46:40 +0800

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温風を当てるという単純な工程ではありません。これは、寸法精度を保つための重要な工程なのです。ソフトベイクやハードベイクにおいて2℃のわずかな温度変動でも、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。その結果、リソグラフィースキャナーが異常を検知する前にウェーハが廃棄されてしまいます。したがって、加熱要素の性能が、全体の温度制御において非常に重要な役割を果たします。

暖房 on Warm IR Gold Coating Heaters

省エネ型半導体ヒーター

高純度クォーツ加熱素子