乾燥 on Warm IR Gold Coating Heaters

工場乾燥設備のエネルギー監査

Fri, 24 Jul 2026 09:35:08 +0800

1個の壊れたランプが全てのウェーハを台無しにするのを防ごう
高負荷の製造環境で働いている人なら、その恐ろしい状況をよく知っているでしょう。1つのランプが壊れるだけで、作業中の全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。
単に熱が出なくなるだけではありません。破損した石英管はまるでガラスの手榴弾のようになり、破片や微細な粒子が生産ラインに飛び散ります。これは誰もが片付けたくないほどの大変な状況です。私たちは、そういう事態を防ぐために特別に赤外線ランプを設計しています。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800

ウェーハを本当にきれいに乾燥させるために
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室でも、古くなったフィラメントの破片や接着剤の分解物といった微小な粒子が、一瞬で大量のセンサーを破壊してしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかりますが、避けられる問題です。

卸売用ウェーハ乾燥ランプ

Fri, 26 Jun 2026 01:49:11 +0800

製造現場では、ウェーハが最終的な洗浄工程を終えた瞬間から、時間との戦いが始まります。乾燥に時間がかかってしまうと、ウェーハ上に凹みや粒状物が発生し、それらがそのままリソグラフィーやエッチング工程に影響を与えてしまいます。当社のウェーハ乾燥ランプは、このような不確実性を排除するために設計されています。乾燥や焼成が行われる場所で、再現性の高い温度制御が可能になり、その結果、シフトごとにフォトレジストの特性が一定に保たれます。

実際に重要なのは、石英製のケース内で短波および中波の赤外線が利用されている点です。これにより、水やフォトレジスト溶剤の吸収特性に合わせて温度が調整されます。ウェーハ全体の温度ムラは±0.1℃以内に抑えられ、ソフトベイクやハードベイクの際も温度が安定して保たれます。クリーンルームのクラス1～100に適応することは、単なる追加機能ではありません。低ガス放出性の材料や密閉型のケース、正圧の空気流を用いることで、粒子の発生を防ぎます。5,000時間以上使用しても出力は安定し、強度の変動は5％未満です。統合された校正機能やPLCのインターロックにより、各焼成工程が適切な温度範囲内で行われ、ランプと反射板の設計によりエネルギー消費も抑えられます。

衣類乾燥ヒーター

Wed, 03 Jun 2026 01:42:12 +0800

冬の夜は、小さな不快感がより大きく感じられやすい。服を重ね着し、体勢を変えても、空気は湿ったまま冷たい状態が続く。洗濯物の山はそのままだ。ここで、赤外線の熱を利用した衣類乾燥ヒーターが室内の環境を変える。