半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クリーンルーム内に熱を供給する際に、汚染を引き起こさない方法とは？ 半導体製造のためのクリーンルームに熱を加えるのは、注意しないと大変なことになります。少しでも間違えると、至る所が汚染されてしまいます。そのため、私たちはトロリータイプのヒーターとして赤外線を利用しています。 強制的な熱風は不要です...