http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%B3/ Recent content in オーブン on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際にわずか<a href="https://goldisgood.com">半度</a>だけでも角度が変わってしまうと、重要な寸法が変わり、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターは粒子を発生させず、温度の変動も起こさないように、安定した温度を供給する必要があります。私たちは、このプロセスを支えるための装置として、インフラーレッドヒーターを設計しました。これは単なる追加装置ではありません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、応答速度が速く、スペクトル制御が精密な短波長インフラーレッド素子を使用しています。そうすることで、ウェーハやキャリアが直接熱を受け取り、チャンバーの壁面が熱を受け取ることはありません。これにより、加熱領域全体でのウェーハの温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、負荷時の設定温度の安定性も±0.2℃以上です。また、連続して運転しても温度の再現性は0.3℃以下であり、そのためソフトベイクやハードベイクの条件が安定して維持されます。</p>