http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%B4%E3%82%A1%E3%83%86%E3%83%83%E3%82%AF/ Recent content in エヴァテック on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:50:34 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:50:34 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="エヴァテック式蒸発器加熱ランプ"></p> <p>24時間365日稼働するファブラインにおいて、蒸発器用の加熱ランプが故障すると、単に1つの装置が使えなくなるだけではありません。リソグラフィーの工程が停滞し、温度管理が乱れ、フォトレジストの焼成条件も規格から外れてしまいます。稼働時間は数分単位で測定され、温度の再現性は絶対に許されません。</p>