http://warm-ir-gold-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 02:56:51 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ Mon, 08 Jun 2026 02:56:51 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェハーツール用赤外線ランプソケット"></p> <p>ウェハーフロアでは、フォトレジストベイクは議論の余地がなく、単純に歩留まりに直結します。ソフトベイクやハードベイクの温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法制御に<a href="https://henruite.com">影響</a>が出ますし、パーティクルの急増はロット全体を台無しにします。だからこそ、装置の赤外線ランプソケットには、光学系やステージと同じレベルの設計基準が求められます。</p> <h2 id="内部で重要なポイント">内部で重要なポイント</h2> <p>ウェハーツール向け赤外線ランプソケットは、再現性の高い熱供給を前提に設計しています。NIR（近赤外線）光源は、エネルギーがクォーツベースのシステムに迅速かつ直接伝達されるよう選定し、ショートウェーブおよびミディアムウェーブのスペクトル特性を過渡応答なく確保します。ベイクゾーン全体の熱均一性は±0.1℃以内に維持され、フォトレジストは連続稼働時でも同一の熱負荷を受けます。</p>