無駄な時間を費やさないために：ゴールドコーティングされたIRランプへの移行
もし、依然として半導体の処理に熱風を使用しているのであれば、実質的に半日のうちの半分を待つことに費やしていることになります。
考えてみてください。熱風を使う場合、ウェハーが温まる前にまずオーブン全体を温める必要があります。これは非常に遅く、面倒であり、作業効率を大きく低下させます。
そこで役立つのが、ツインチューブ式のゴールドコーティングされたIRランプです。このランプは、部品の周囲の空気を温める代わりに、放射エネルギーを直接対象物に照射します。
秘密はゴールドコーティングにあります。
通常の石英管でも十分ですが、エネルギーが四方八方に漏れ出してしまいます。しかし、ツインチューブ式のランプでは、内部にゴールドコーティングが施されており、これによってランプが熱反射ミラーのように機能します。
すべてのエネルギーが前方に反射され、ウェハーや基板に直接当たります。数分間待ってから温度が上がるのではなく、数秒で目標温度に到達します。これは本当に素早いです。
「ツインチューブ」構造が重要な理由
2本のチューブを使用することで、狭いスペース内でより多くのフィラメント表面積を確保できます。これにより、複数のワット数を供給しても、フィラメントが破断する心配がありません。
また、熱もより均等に分布します。敏感な半導体材料を扱う際には、これが完璧な製品と、ホットスポットによって変形してしまう製品との違いになります。
注意点（完璧なものはないから）
もちろん、これが魔法のような解決策だとは言いません。いくつか注意すべき点があります。
このランプは非常に強力で速く動作するため、電源装置に大きな負担がかかります。スイッチを入れた瞬間に急激な電流の増加に対応できるように、コントローラーをしっかりと選ぶ必要があります。
また、冷却システムにも注意が必要です。ファンが十分に機能しなければ、余分な熱が精密なセンサーに影響を与え、測定値を乱す可能性があります。
結論として
熱風を使うのは非効率的です。IRランプを使えば、即座に処理が可能です。
長い「ウォームアップ」の時間を省くことで、1時間あたりの処理量が大幅に向上します。ほとんどのエンジニアにとって、これはキュアリングや乾燥工程のボトルネックを解消し、作業をスムーズに進める最も簡単な方法です。