Elemento riscaldante Oxford Instruments

Mon, 01 Jun 2026 18:06:45 +0800

On line, la deriva termica non dà alcun segnale di avvertimento. Si manifesta come variazione della linewidth, fotoresist che non aderisce dopo il soft bake e scarti che finiscono direttamente nel report giornaliero. Nella fabbricazione e nel packaging dei wafer, il budget termico è un limite invalicabile—non c’è margine di trattativa.

Per questo abbiamo sviluppato l’elemento riscaldante Oxford Instruments per il contesto reale della fabbrica. È una sorgente di calore compatta e compatibile con le cleanroom, progettata per i passaggi di bake in litografia e per una ripetibilità di processo su cui poter contare.

Strumenti on Warm IR Gold Coating Heaters

Elemento riscaldante Oxford Instruments