Riscaldatore a infrarossi a onde medie per wafer

Mon, 22 Jun 2026 19:30:31 +0800

Nelle linee di produzione, come è noto, una variazione di temperatura di soli 0,5°C può far sì che le dimensioni critiche dei componenti cambino di alcuni nanometri, con conseguente perdita di ore di lavoro legate alla litografia. I riscaldatori a onde medie infrarosse sono progettati apposta per evitare tali variazioni di temperatura.

Quello che realmente conta I riscaldatori a onde medie infrarosse trasferiscono energia direttamente nel fotoresisto e nel substrato, con un riscaldamento rapido ma controllato. Riusciamo a mantenere l’uniformità della temperatura entro i ±0,1°C in tutta la zona di riscaldamento; inoltre, la stabilità della temperatura rimane entro i ±0,2°C anche sotto carico. L’emissività del riscaldatore è ottimizzata per il silicio e per i materiali utilizzati, così da evitare eventuali problemi durante i processi di riscaldamento.

Onda on Warm IR Gold Coating Heaters

Riscaldatore a infrarossi a onde medie per wafer