http://warm-ir-gold-heater.com/id/tags/oven/ Recent content in Oven on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo id Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/id/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Mon, 29 Jun 2026 03:14:38 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/id/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Pemanas inframerah untuk oven di ruang bersih"></p> <p>Di fasilitas litografi, perubahan sudut sebesar setengah derajat selama proses pemanasan fotoresist saja sudah cukup untuk mengganggu kualitas wafer yang dihasilkan. Di ruang bersih kelas 1–100, pemanas harus mampu menghasilkan suhu yang stabil, tanpa menghasilkan partikel atau gangguan lainnya. Kami merancang pemanas inframerah untuk digunakan sebagai alat utama dalam proses ini, bukan sekadar alat tambahan.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong> Kami menggunakan elemen inframerah berfrekuensi pendek yang memiliki respons cepat dan kontrol spektral yang akurat. Dengan demikian, panas akan langsung sampai ke wafer dan pelindungnya, bukan ke dinding ruangan. Hal ini memungkinkan terciptanya keseragaman suhu pada wafer hingga ±0,1°C di seluruh area pemanasan, dengan stabilitas suhu yang lebih baik lagi, yaitu ±0,2°C saat beban tinggi. Repeatabilitas suhu antar sesi pemanasan tetap di bawah 0,3°C, sehingga profil pemanasan tetap stabil dari satu batch ke batch lainnya.</p>