सैफायर वेफर प्रोसेसिंग हीटर

Tue, 23 Jun 2026 13:26:28 +0800

वहाँ, 150 मिमी आकार के सैफायर वेफर हैं; वे फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया का इंतजार कर रहे हैं। यहाँ, थोड़ा सा तापमान-परिवर्तन ही महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है… एक ही कण भी पूरी प्रक्रिया को बर्बाद कर सकता है। हीटर को तो प्रक्रिया के अनुरूप ही होना चाहिए… न कि प्रक्रिया को ही हीटर के अनुरूप ढालना होगा।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे हीटरों को शॉर्ट-वेव हैलोजन क्वार्ट्ज तत्वों एवं कम-थर्मल-मास वाली संरचनाओं के आधार पर ही बनाते हैं। इसी कारण ही वेफरों पर तापमान समान रहता है… ±0.1°C की सटीकता के साथ। 80°C से 300°C तक के तापमान-मान भी ±0.5°C की सटीकता के साथ ही बने रहते हैं… इससे फोटोरेजिस्ट की प्रक्रिया सही तरीके से ही होती है। हॉट ज़ोन, क्लास 1 स्तर के क्लीनरूम में ही बना है… ऐसी सामग्रियों के उपयोग से कणों की संख्या कम रहती है, एवं गैसों का निकास भी रुक जाता है। ऊर्जा-घनत्व, वेफर के आकार एवं ऊष्मा-आवश्यकताओं के अनुरूप ही होता है… और यह सब कुछ 24/7 कार्य करने हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… कोई रुकावट नहीं होती।

प्रसंस्करण on Warm IR Gold Coating Heaters

सैफायर वेफर प्रोसेसिंग हीटर