http://warm-ir-gold-heater.com/he/tags/resist/ Recent content in Resist on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo he Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/he/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/he/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מנורת אפייה לחומרי עמידות באור UV עמוק (DUV)"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.2°C במהלך תהליך החימום אינו דבר זניח – זה פוגע באיכות המוצר. הפוטורזיסט משמור על הממדים הקריטיים שלו בדקות הראשונות של תהליך החימום, ושלב החימום אחראי על הסרת החומרים המסיסים, על שליטה במתחים בשכבת הפוטורזיסט ועל מניעת בעיות בקצוות השכבה. כאשר האחידות התרמית נפגעת, עלולות להופיע בעיות כמו קווים לא רצויים על השכבה, וזה עלול לגרום לבזבוז של כל הלוטים.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו משתמשים במנורות חימום מסוג DUV שמשתמשות בחימום באמצעות אור אינפרא-אדום. השדה התרמי נשאר אחיד עד לרמה של פחות ממילימטר אחד, והחזריות של התהליך היא ברמה של רמת הוואפר. פרופיל החום שנוצר תואם את צורת הוואפר, ולא רק את הנתונים שמציג המחמם. על וואפר בגודל 300 ממ, אזור החימום שומר על שליטה קפדנית בטמפרטורה, כך שטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט נשארת בטווח מוגדר, וזה מגן על השכבות השונות של הוואפר. המערכת מיועדת לשימוש בחדרי עבודה מסוג Class 1–100, כאשר החומרים והחלקים השונים נבחרו כך שימנעו ייצור של חלקיקים במהלך תהליך החימום.</p>