מנורת אפייה לחומרי עמידות באור UV עמוק (DUV)

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.2°C במהלך תהליך החימום אינו דבר זניח – זה פוגע באיכות המוצר. הפוטורזיסט משמור על הממדים הקריטיים שלו בדקות הראשונות של...