http://warm-ir-gold-heater.com/he/tags/%D7%A1%D7%A4%D7%99%D7%A8/ Recent content in ספיר on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo he Tue, 23 Jun 2026 13:26:28 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/he/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:26:28 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/he/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="מחמם לעיבוד שבבי ספיר."></p> <p>על הקו, יש שבב ספיר גדול בגודל 150 ממ, שמחכה לעבור תהליך אפייה. כאן, כמו שאנו יודעים, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של השבב, וחלקיק אחד בלבד יכול לגרום לכישלון התהליך. החיממה חייבת להתאים לתנאי התהליך – ולא לאלץ את התהליך להתאים לחיממה.</p> <p><strong>מה באמת חשוב בתהליך האפייה</strong> אנו בונים את החיממות לשבבי הספיר על בסיס רכיבי קוורץ הלוגן בעלי גל אור קצר, יחד עם מערכת בעלת מסה תרמית נמוכה. זה מאפשר יציבות של הטמפרטורה ברמה של פחות משנייה, ואחידות של ±0.1°C ברמת השבב. נקודות הטמפרטורה, מ-80°C עד 300°C, נשארות יציבות ברמה של ±0.5°C בין פעימות שונות. כך, תהליך האפייה נשאר בתנאים הנדרשים עבור הפוטורזיסט. האזור החם תואם לתנאי חדר נקיים מסוג Class 1, עם חומרים שמונעים היווצרות של חלקיקים ומונעים פליטת גזים. צפיפות האנרגיה מותאמת לגודל השבב ולתנאי התרמיים, וכל המערכת מותכננת לפעולה רציפה 24/7 – ללא עצירות בלתי צפויות.</p>