במפעלי הייצור, ליין CSP ברמת הוואף אינו יכול להרשות לעצמו שינויים בטמפרטורה במהלך תהליכי העיבוד של הפוטורזיסט או בעת הייבוש שלו. שינוי של 1°C במהלך תהליכי החימום עלול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוואף, וכל לחות שנשארת לאחר הניקוי עלולה לפגוע באיכות המוצר הסופי. לכן ייצרנו גלאי חום באינפרא-אדום לשימוש בשלבים אלו – שם השליטה בטמפרטורה היא הכרחית.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים באינפרא-אדום בגלי קצרים, כדי לחמם את הוואף במהירות, ללא מגע, ותוך שמירה על אחידות של ±0.1°C. מערכת הפליטה של החום פועלת ישירות על הפוטורזיסט ועל החומר שעליו הוא מונח, כך שהעיכוב התרמי נשאר נמוך והטמפרטורה נשארת יציבה. ניתן לשלוט בטמפרטורה, והגלאי שומר עליה בצורה עקבית לאורך כל התהליך – כך שעובי השכבה והלכלוך שנשאר נשארים במסגרת הסטנדרטים.
המכשיר מותאם לחדרי ניקוי מסוג Class 1–100: אין ייצור של חלקיקים, החומרים שמשמשים בו פולטים כמויות קטנות של גזים, והמשטח שלו חלק כל כך שניתן לנקות אותו בקלות. המכשיר פועל 24/7, עם תקופות תחזוקה צפויות – כך שאין צורך לדאוג לזמני עצירה בלתי צפויים.
למה המכשיר מתאים לתהליך? המכשיר פותר את הבעיות האמיתיות בתהליכי ייבוש הוואף, עיבוד הפוטורזיסט והשלבים הבאים. החימום המהיר מקצר את זמן התהליך, ללא עליות חריגות בטמפרטורה. היציבות של הטמפרטורה מפחיתה את השונות בהתכה של הפוטורזיסט ואת הבעיות שנוצרות בקצוות הוואף.
צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמכשיר פועל רק כאשר יש צורך בכך, והמסה התרמית שלו נמוכה. כך נוצרת שכבה אחידה, פחות פגמים לאחר הניקוי, והתהליך יכול לעמוד בתנאי הייצור האינטנסיבי. התוצאה היא שיעור הצלחה גבוה יותר בפעם הראשונה, ופחות פסולת – כל זה בזכות שליטה טובה בטמפרטורה.
מה צריך לדעת? ההתקנה כוללת התאמה של יציאות המכשיר למערכות שלכם: סוגי החיבורים והמתח צריכים להתאים לפלטפורמה שלכם. המכשיר פועל בצורה הטובה ביותר כאשר השדה הראייה חופשי והמשטחים המחזירים את האור מנוהלים כראוי – אחרת עלולות להיווצר נקודות חם.
יש לבצע כיול קבוע של המכשיר, ולעקוב אחר לוח הזמנים להחלפת הרכיבים שלו. כך ניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C ועל שליטה בתהליך.