Chauffage du SEM (microscope électronique à balayage)

Fri, 19 Jun 2026 02:38:51 +0800

Sur le plan de fabrication, les tolérances d’inspection par SEM s’effondrent dès que l’étage de la lame commence à bouger. Une déviation de 0,5 °C pendant le séchage du photo-résiste ou pendant l’imagerie critique affecte l’épaisseur des lignes, modifie le contraste, et oblige à une nouvelle qualification du dispositif. Il est donc nécessaire d’avoir un système de chauffage fiable : prévisible, propre et reproductible.

Ce qui compte techniquement Nous avons conçu le chauffage pour SEM en mettant l’accent sur un comportement thermique contrôlé. L’élément utilisé est à rayonnement infrarouge à court terme, ce qui permet une réponse rapide, avec une faible masse thermique. La température atteint rapidement la valeur souhaitée, en quelques secondes à peine. Dans toute la zone active, l’uniformité de température reste à ±0,1 °C, ce qui évite que la température ne devienne un facteur instable dans la métrologie lithographique.

(Scannage on Warm IR Gold Coating Heaters

Chauffage du SEM (microscope électronique à balayage)