Comment chauffer une salle propre sans créer de saleté
Ajouter de la chaleur dans une salle propres destinée au traitement de semi-conducteurs peut être un véritable cauchemar si l’on n’est pas prudent. Un seul faux mouvement suffit pour provoquer des contaminations partout. C’est pourquoi nous utilisons des chauffages à rayonnement infrarouge pour nos systèmes de chauffage.
Pas d’air chaud forcé, pas de solvants chimiques nocifs. Seulement une chaleur propre et efficace. C’est le moyen le plus simple d’atteindre les objectifs liés à l’utilisation de matériaux sans plomb et respectueux de l’environnement, sans pour autant risquer de perturber le fonctionnement de la salle.
Comment fonctionne le rayonnement infrarouge ?
Pensez-y de cette manière : nous ne cherchons pas à chauffer l’air ambiant. Ce serait une perte de temps et un risque élevé de voir de la poussière se déposer sur les wafer. Au lieu de cela, l’énergie infrarouge atteint directement la pièce à chauffer. C’est comme se tenir au soleil par un jour froid : on ressent immédiatement la chaleur, même si l’air autour est glacial. Comme l’énergie est directe, les objets se réchauffent beaucoup plus rapidement, sans gaspiller d’électricité.
Les détails techniques
Pour les systèmes de chauffage, nous utilisons généralement des émetteurs à ondes courtes ou moyennes. Ils permettent d’obtenir une forte chaleur dans un espace très restreint. Nous utilisons également des enveloppes en quartz, car elles ne libèrent pas de gaz, ce qui maintient l’air pur.
Pour garder la température stable, nous utilisons un contrôleur PID. Il permet de maintenir la température dans une fourchette très précise, de ±1°C. C’est vraiment très précis.
Mais voici un conseil : veillez à bien contrôler la densité d’énergie. Si vos lampes produisent trop de chaleur et que votre système de chauffage fonctionne trop lentement, des points chauds peuvent apparaître, ce qui pourrait endommager les pièces à chauffer. Nous utilisons généralement des plaques réfléchissantes pour s’assurer que l’énergie atteint bien l’endroit voulu.
Les avantages et inconvénients
Le meilleur aspect ? C’est une solution “verte”. On évite ainsi les composés organiques volatils provenant des solvants, et on réduit l’empreinte carbone de l’installation. De plus, ces systèmes sont bien plus compacts que les anciens systèmes de chauffage. Il suffit de les remplacer pour continuer à utiliser la salle proprement.
Mais ce n’est pas parfait. Le rayonnement infrarouge nécessite une ligne de vue dégagée. Si les pièces ont des formes irrégulières ou des trous profonds, la chaleur ne parviendra pas partout. Il ne suffit pas de compter sur le hasard. Il faudra ajuster la position des lampes ou ajouter des dispositifs rotatifs pour s’assurer que chaque surface reçoive suffisamment de chaleur.