Comment atteindre les bonnes températures pour les wafers (sans deviner)
Si vous essayez de créer une usine de fabrication de semi-conducteurs “intelligente”, vous avez probablement réalisé que le prélèvement manuel des échantillons est un véritable cauchemar. C’est lent, fastidieux, et honnêtement, cela ne permet pas de savoir ce qui se passe réellement en temps réel.
C’est là que les capteurs infrarouges à haute précision entrent en jeu. Ils permettent de mesurer le profil thermique d’un wafer de 300 mm en quelques millisecondes, sans avoir à toucher le substrat. C’est le seul moyen d’obtenir une telle vitesse et précision.
Comment ça marche vraiment ?
Ces capteurs détectent les rayonnements électromagnétiques émis par la surface du wafer. Au lieu qu’un technicien prenne des notes manuellement, les données brutes sont directement transmises au système PLC ou SCADA. Vous pouvez ainsi voir l’uniformité de la température sur tout le wafer en temps réel. Si un point chaud apparaît, le système le détecte immédiatement et ajuste les éléments de chauffage en conséquence. Plus besoin d’espérer que le produit final sera de qualité.
Faire en sorte que le matériel fonctionne correctement
Pour que l’usine soit vraiment “intelligente”, ses équipements doivent pouvoir communiquer entre eux. Nous nous assurons que nos systèmes infrarouges utilisent des signaux standard – généralement 4-20 mA ou des protocoles numériques – afin qu’ils puissent s’intégrer facilement au réseau de données existant. Cela crée un circuit fermé : vous n’avez pas juste affaire à des données affichées sur un écran ; vous utilisez ces données en temps réel pour contrôler la machine.
La réalité
Honnêtement, les capteurs infrarouges à haute résolution ne constituent pas une solution miracle. Ces capteurs ont besoin d’une ligne de vue dégagée. Si il y a de la vapeur ou des impuretés sur la vitre de visualisation, les mesures deviennent inaccurates. C’est frustrant, mais c’est la physique. Il faut donc planifier cela à l’avance : soit en respectant un calendrier de maintenance rigoureux pour le système optique, soit en installant un système de purification pour maintenir les lentilles propres. Sinon, les données recueillies ne valent rien. C’est un peu plus de travail, mais c’est le prix à payer pour obtenir une telle précision dans le traitement des semi-conducteurs.