http://warm-ir-gold-heater.com/fa/tags/processing/ Recent content in Processing on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo fa Tue, 23 Jun 2026 13:26:27 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/fa/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:26:27 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/fa/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="هیتر فرآوری ویفر زافیر"></p> <p>در خط تولید، یک ویفر سافیری با ضخامت ۱۵۰ میلی‌متر وجود دارد که در انتظار فرآیند حرارتی برای پردازش رزیست است. در اینجا، حتی تغییر جزئی در دما نیز می‌تواند منجر به تغییرات قابل توجهی در ابعاد ویفر شود؛ همچنین، وجود یک ذره کوچک نیز می‌تواند کل فرآیند را خراب کند. بنابراین، گرمکن باید با شرایط فرآیند سازگار باشد؛ نه اینکه فرآیند مجبور شود با گرمکن سازگار شود.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد:</strong> ما این گرمکن‌های سافیری را با استفاده از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه و ساختارهایی با جرم حرارتی پایین ساخته‌ایم. این روش باعث می‌شود که دما در عرض چند ثانیه به حالت تعادل برسد و یکنواختی دما در سطح ویفر حدود ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد باشد. محدوده دمایی از ۸۰ درجه سانتی‌گراد تا ۳۰۰ درجه سانتی‌گراد نیز در هر بار تولید، در حدود ±۰٫۵ درجه سانتی‌گراد یکنواخت باقی می‌ماند؛ بنابراین، فرآیندهای حرارتی مربوط به رزیست نیز در محدوده استانداردها انجام می‌شوند. منطقه گرمایشی نیز با استانداردهای اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ سازگار است؛ همچنین، مواد و ساختارهای مورد استفاده نیز باعث کاهش تعداد ذرات و جلوگیری از خروج گازها می‌شوند. چگالی انرژی نیز متناسب با اندازه ویفر و محدودیت‌های حرارتی تنظیم می‌شود؛ در نتیجه، کل سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است و هیچ توقف غیرمنتظره‌ای وجود ندارد.</p>