Elemento calefactor de cuarzo de alta pureza

Fri, 03 Jul 2026 03:46:40 +0800

En la planta de fabricación, el proceso de secado del fotoresistente no es simplemente un paso térmico rutinario. Se trata de un proceso crítico donde cualquier desviación de 2°C puede afectar las dimensiones de los chips en nanómetros. En ese caso, habrá que desechar los chips antes incluso de que el escáner de litografía detecte esa desviación. El elemento calefactor es clave para mantener la estabilidad térmica necesaria.

Lo que realmente importa Fabricamos estos elementos calefactores de cuarzo para el control térmico en semiconductores, y no para aplicaciones generales. El cuerpo de cuarzo reduce al mínimo la emisión de gases y resiste bien la exposición química, ciclo tras ciclo. Buscamos lograr una uniformidad en toda la superficie del chip dentro de un rango de ±0.1°C, de modo que cada área del chip se encuentre a la misma temperatura. La salida térmica permanece estable durante miles de horas, con una desviación mínima que permite garantizar la repetibilidad del proceso. La geometría del elemento calefactor se adapta perfectamente a las características de la placa de calentamiento, y las opciones de conexión están diseñadas para facilitar su integración en las herramientas y asegurar su estabilidad mecánica a largo plazo.

Pureza on Warm IR Gold Coating Heaters

Elemento calefactor de cuarzo de alta pureza