Infrarotheizer für Vakuumkammern

Thu, 23 Jul 2026 09:48:21 +0800

Hören Sie auf, die Vakuumkammer zu heizen – und heizen Sie stattdessen den Wafer.
Wenn Sie bereits Hochleistungs-IR-Lampen in einer Halbleiter-Vakuumkammer eingesetzt haben, kennen Sie das Problem. Es handelt sich dabei um einen ständigen Kampf gegen die Hitzeentwicklung.
Das Problem ist, dass herkömmliche Lampen die Energie in alle Richtungen abgeben – also in einem 360-Grad-Winkel. Im Vakuum erreicht die mayoría dieser Wärme überhaupt nicht den Wafer. Stattdessen trifft sie direkt auf die Wände der Kammer. Dadurch wird viel Energie verschwendet – außerdem wird die Außenseite der Ausrüstung so heiß, dass sie Menschen verletzen kann.
Die Lösung: Richtungsgebundene Beheizung.
Anstelle eines einfachen Quarzrohrs verwenden wir reflektierende Beschichtungen oder parabolische Reflektoren, um die IR-Energie gezielt dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird. Damit wird der Strahl eingegrenzt.
Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie verändert alles. Man muss nicht mehr versuchen, die gesamte Maschine zu heizen, sondern konzentriert sich stattdessen auf den jeweiligen Bereich.
Man kann nicht einfach irgendeine Lampe verwenden. Wir nutzen in der Regel Kurzwellen-IR-Emitter. Diese funktionieren besser in Vakuumumgebungen und interagieren effektiver mit Halbleitermaterialien.
Aber Vorsicht: Achten Sie auf die Leistungsdichte! Da diese Lampen die Wärme konzentrieren, können sie gefährliche Hotspots erzeugen, wenn der Fokuspunkt auch nur um wenige Millimeter fehlt. Um Probleme zu vermeiden, empfehle ich dringend den Einsatz eines PID-Reglers in Kombination mit einem schnell reagierenden Pyrometer. Wenn man die Leistung zu hoch setzt, ohne die Ausrichtung perfekt zu kontrollieren, können die Ränder der Wafer beschädigt werden.
Das Beste daran: Sobald man auf diese Methode umsteigt, muss man nicht mehr auf die großen, sperrigen Kühlvorrichtungen an den Kammerwänden angewiesen sein. Die Außenseite der Ausrüstung bleibt kühl. Die Mitarbeiter müssen beim Wartungsarbeiten keine Angst vor Verbrennungen haben. Zudem erhöht sich die Produktivität – ohne dass man extra Techniker hinzuziehen muss, um die Kühlkapazität der Anlage zu erhöhen. Es funktioniert einfach.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Mon, 20 Jul 2026 09:19:07 +0800

Hören Sie auf, sich Sorgen um Ihre Chemikalien zum Reinigen zu machen!
Seien wir ehrlich: Das Erhitzen brennbarer oder explosionsfähiger Reinigungsmittel ist wirklich beunruhigend. Wenn man eine Standard-IR-Lampe verwendet, spielt man im Grunde mit Feuer. Ein kleiner Funke oder eine winzige Riss im Quarz können bereits zu einer Katastrophe führen.

Wir haben beschlossen, dass es einen besseren Weg geben muss. Deshalb haben wir auf die Erhitzung im Freien verzichtet und stattdessen einen speziellen, vakuumversiegelten Ansatz gewählt.

Wie das versiegelte System funktioniert
Wir werfen einfach keine Lampe in einen Behälter und sind fertig. Unsere IR-Heizer nutzen ein Doppelwand-Prinzip – man kann es sich wie einen Schutzkokon vorstellen. Die Heizelemente befinden sich in einer inneren Quarzwand, die wiederum in einer zweiten, chemikalienresistenten Außenhülle liegt. Zwischen diesen beiden Schichten entsteht ein Vakuum. Dadurch wird erreicht, dass die Außenhülle nicht zu heiß wird. Zudem verhindert das Vakuum, dass die Heizelemente jemals mit den brennbaren Chemikalien in Berührung kommen. Selbst wenn die innere Lampe ausfällt oder Risse bekommt, bleibt die Außenschicht intakt und hält die explosiven Dämpfe von den elektrischen Anschlüssen fern. Die Hitze strahlt einfach durch die Schichten hindurch. Es ist sauber – und sicher.

Vakuum on Warm IR Gold Coating Heaters

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer