http://warm-ir-gold-heater.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo de Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 14 Jul 2026 11:47:25 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern"></p> <p><strong>Wie man die Wafer wirklich sauber trocknet</strong><br> Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist Wärme zwar wichtig – doch sie ist nur die halbe Miete. Das eigentliche Problem sind die Partikel, die dabei entstehen. In einem Reinraum der Klasse 100 kann bereits ein winziger Splitter eines alten Filaments oder ein wenig <a href="https://o-yate.net">ausgasender</a> Kleber dazu führen, dass eine ganze Charge an Sensoren <a href="https://o-yate.com">zerst</a>ört wird. Das ist frustrierend, teuer – und völlig vermeidbar.</p> <p>Deshalb verwenden wir IR-Lampen aus hochreinem synthetischem Quarz. Diese verursachen keine Kontaminationen.</p>