Heizelement aus hochreinem Quarz

Fri, 03 Jul 2026 03:46:40 +0800

Im Produktionsbetrieb ist das Erhitzen des Fotolacks keine einfache, „sanfte“ thermische Prozedur. Es geht dabei um Genauigkeit – bereits eine Abweichung von 2°C während des Erhitzungsprozesses kann dazu führen, dass kritische Abmessungen um einige Nanometer verändert werden. Dann müssen die Wafer weggeworfen werden, noch bevor der Lithografiescanner überhaupt eine Abweichung feststellt. Der Heizelement ist also entscheidend für die Qualität des Erhitzungsprozesses.

Was wirklich wichtig ist: Wir fertigen diese Quarzelemente für die thermische Steuerung in Halbleiterfabriken – nicht für allgemeine Heizzwecke. Der Quarzkörper sorgt dafür, dass nur minimale Gase freigesetzt werden, und widersteht außerdem chemischer Einflüsse – Cycle für Cycle. In der aktiven Zone soll die Temperatur innerhalb von ±0,1°C konstant bleiben, damit jeder Bereich der Wafer auf derselben Temperatur bleibt. Die Leistung bleibt über Tausende von Stunden hinweg stabil, wodurch Abweichungen minimiert werden und die Prozesseffektivität gewährleistet bleibt. Die Geometrie des Elements passt perfekt zu der Form der Heizplatte. Zudem werden solche Elemente so gewählt, dass sie eine saubere Integration in die Maschinen ermöglichen und langfristig stabil bleiben.

Kvarts on Warm IR Gold Coating Heaters

Heizelement aus hochreinem Quarz