Heizen on Warm IR Gold Coating Heaters

Wafer Oxidationsheizelement

Sun, 05 Jul 2026 06:22:49 +0800

Einführung
Die Oxidationsprozesse bei Wafern finden in einer extremen Umgebung statt. Man benötigt eine Heizelemente, die dem hohen Temperaturstress tagtäglich standhalten können – ohne Ausfälle oder Versagen. Deshalb haben wir unsere Heizlampen so konzipiert, dass sie in dieser Umgebung funktionieren können. Wir verwenden hochwertigen Quarz sowie hochreinen Wolfram – Materialien, auf die man sich verlassen kann. Der Vorteil: Eine Lampe, die weiterhin zuverlässig funktioniert, anstatt bereits nach kurzer Zeit auszufallen.

Technische Details
Im Inneren eines Oxidationsofens hat das Heizelement eine schwierige Aufgabe: Es muss schnell auf die erforderliche Temperatur gelangen und anschließend diese konstant halten – ohne ständige Schwankungen. Unsere Konstruktion berücksichtigt genau diese Anforderungen. Es geht darum, ein stabiles Temperaturprofil zu gewährleisten – selbst dann, wenn der Ofen stundenlang bei hoher Temperatur betrieben wird. Der Quarzkörper behält seine Form, auch wenn die Temperatur stark schwankt. Das Wolfram-Heizelement widersteht dabei den Belastungen, die zu Hitzepunkten führen könnten. Zusammen sorgen sie für eine zuverlässige Wärmeabgabe in jedem Betriebszyklus.

Evatec Verdampferheizlampe

Sat, 27 Jun 2026 01:50:34 +0800

In einer 24/7 betriebenen Produktionslinie führt ein Ausfall der Heizlampe des Verdampfers nicht nur dazu, dass eine bestimmte Maschine außer Betrieb geht. Dadurch wird auch der Lithografieprozess gestört, das thermische Gleichgewicht wird beeinträchtigt und die Eigenschaften des Fotolacks verändern sich. Die Betriebszeit wird in Minuten gemessen – und die Temperaturgenauigkeit ist einfach unverhandelbar.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben die Heizlampe des Evatec-Verdampfers mit Halogenelementen im Kurzwelleninfrarotbereich ausgestattet. Dadurch wird eine direkte Strahlungsausbreitung gewährleistet – mit geringer thermischer Trägheit. Dadurch kann die Temperatur schnell angehoben werden, die Homogenität bleibt hoch, und die Kontrolle über die Temperatur auf der Wafer-Oberfläche liegt innerhalb von ±0,1°C. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 wird durch einen versiegelten Quarzkörper sowie einen Prozess zur Steuerung der Partikelzahl gewährleistet. So bleibt die Wafer-Oberfläche frei von Verunreinigungen. Die Lampe kann kontinuierlich betrieben werden, ohne dass es zu unplanmäßigen Stillständen kommt. Sie hält mehr als 5.000 Stunden lang durch, wobei der Leistungseinbruch weniger als 5% beträgt.